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光谱共焦传感器测量的精度微位移变化
发布时间:2017-10-23   点击次数:262次
   光谱共焦传感器测量的精度微位移变化
  
  光谱共焦传感器的工作原理,由光源射出一束宽光谱的复色光(呈白色),通过高色散的物镜发生光谱色散,此种物镜对不同波长的光的焦点,在一条轴线上形成一系列不同波长的单色光,每一个波长都对应一个到被测物体的距离值。物体表面将照射光反射回来,通过共聚焦小孔过滤,只有满足共焦条件的单色光,可以通过小孔被光谱仪感测到。通过计算被感测到的波长,换算获得距离值。轴向和水平方向的分辨率都可达到微米或者亚微米量级。
  
  光谱共焦传感器是基于一个创新的光学原理,利用空间的色散光谱,光谱共焦位移传感器可以对几乎任何材料进行高精度的测量。
  
  光谱共焦传感器应用
  
  微位移、微形变高精度测量
  
  超高线性度,可以作为传感器的标定使用。
  
  通过长度测量可以测量计算难以获取的微小应变。
  
  纯光学测头,不会受到强磁干扰,无温度散发,可以在真空中使用。
  
  光谱共焦传感器在线检测
  
  高测量速度和开放的接口,可以应用于生产线相关的检测或控制系统。
  
  光谱共焦原理具有超高的耐表面性,高光洁表面也可以稳定检测。
  
  侧视测量,可以测量zui小直径7mm的微孔侧壁形貌。
  
  光谱共焦传感器测振计
  
  高速的测量频率和纳米级的分辨率,可以应用在物体的振动测量。
  
  光谱共焦传感器厚度测量
  
  的色散共焦成像原理可以测量透明材料的厚度,具有极高的度。
  
  另外,非常值得推荐的光谱共焦传感器的应用是测量多层透明材料的厚度。与其他测量方法不同,光谱共焦传感器在测量这种物体时,仅需要一支探头就可以完成测量。测量被测物体前端面和后端面的反射光,从而得到层厚信息。

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