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光谱共焦传感器可选量程测量距离
发布时间:2017-12-22   点击次数:268次
   光谱共焦传感器可选量程测量距离
  
  光谱共焦传感器可以实现单侧厚度测量。也就是说从一侧测量透明物体的厚度。缘于其光谱成分换算成距离的原理,不仅可以测厚,还可以测多层材料各层厚度。当然前提是材料透明。如果是非透明体,就需要上下安装两支对射测厚了。
  
  光谱共焦传感器产品独特性能:
  
  1.产品原理:全新的光谱共焦原理,可测量距离和厚度;
  
  2.任何材质和表面:包括镜面、玻璃、陶瓷、半导体、高光金属等表面均可进行纳米级测量;
  
  3.超高精度测量:zui小线性度可达0.03μm,zui高分辨率为0.3nm;
  
  4.光谱共焦传感器从100μm-42mm的可选量程;
  
  5.超高采样频率:2K-60KHz,用于生产线,替代人工并提高合格率;
  
  6.测量范围极广,几乎无死角,解决激光三角法测量无法回避的因表面材质变化或倾斜而导致测量误差等问题,zui大可测倾角87度;
  
  7.可进行透明工件(LCD、LCM、手机摄像头等)多层厚度的测量,zui小可测量厚度为400nm;
  
  8.可用于实验室的2D轮廓测量、3D微观形貌分析、表面粗糙度测量,到工业在线检测、自动化控制等。
  
  

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