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光谱共焦传感器的角度特性可测倾角87°
发布时间:2018-07-12   点击次数:242次
  光谱共焦传感器又名共焦传感器,共聚焦传感器,白光色散传感器。光谱共焦位移传感器是一种通过光学色散原理建立距离与波长间的对应关系,利用光谱仪解码光谱信息,从而获得位置信息的装置。
  当被测物处于测量范围内某一位置时,只有某一波长的光聚焦在被测面上,该波长的光由于满足共焦条件,可以从被测物表面反射回光纤耦合器并进入光谱仪,而其他波长的光在被测物面表面处于离焦状态,反射回的光在光源处的分布远大于光纤纤芯直径,所以大部分光线无法进入光谱仪。通过光谱仪解码得到光强大处的波长值,从而测得目标对应的距离值。由于采用了光谱共焦传感器,因此该方法具有良好的层析特性,提高了分辨力,并且对被测物特性和杂散光不敏感。
  光谱共焦传感器具有超强的测量能力,可以稳定的测量任何材质(如,镜面、玻璃、不锈钢、白色陶瓷、高光金属、基板等)无论什么表面均可在1μm内稳定测量。即使多种材质存在,用同一安装方式也可以稳定测量。
  光谱共焦传感器具有超强的角度特性,可测倾角87°
  角度特性是指可测量样品的大倾角。激光位移传感器测量非平面时,因回光产生相差无法准确测量倾斜或曲面,采用光谱共焦测量技术可以保证即使被测物存在过大倾角或曲面,也可以进行高精度的形状测量。针对漫反射表面光谱共焦位移传感器测头可以达到±87°,针对镜面反射光谱共焦位移传感器各种测头基本都可以达到±20°以上。角度特性差会导致众多异形位置无法正常测量。测量非平面表面,尤其针对3D玻璃轮廓、点胶胶水高度及高光金属表面段差时,必须使用光谱共焦传感器。
  镜面、透明、半透明体表面也可以有超强的角度特性,使用光谱共焦传感器,无需严格的角度调整就可以进行高精度测量。即使被测物在运动过程中的跳动也不会对测量造成过大的影响。光谱共焦传感器可高精度测量透明体厚度,并可同时测量不同层面位置值。透明体上下表面均会有一个焦点存在,获取上表面和下表面位置值,上下表面的位置差即是透明体的厚度值。

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