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电容位移传感器的精度决定着显微镜工作台的精度
发布时间:2018-08-08   点击次数:122次
  电容位移传感器的精度决定着显微镜工作台的精度
  无论是生物工程中的细胞操作、集成电路或光电子器件的加工,还是采用电子显微镜进行纳米操作,尽管其精度要求各不相同,但在硬件装备中均有一项共性的关键技术,那就是要解决载物台或其相应设备的高精度的自动测量和定位。要实现这项关键技术,高精度控制系统是非常重要的。搭建了一种闭环控制系统,用于控制某特性显微镜工作台。传感器的使用是闭环控制中必不可少的一环,电容位移传感器的精度决定着系统的精度。
  显微镜移动台在移动停止后会有一定的反弹,平台移动总的的位移量有几毫米,但反弹量很微小,但反弹量决定了平台的移动精度。可以使用电涡流传感器测量平台的较大范围的移动,使用电容位移传感器测量反弹的微小位移。
  电容位移传感器是一种非接触式的电容式传感器;两个传感器板形成一个平行板电容器,每个传感器可用在两个不同的测量范围;纳米分辨率;零磁滞。
  作为测量模块限定的精度,位移传感器经常在复杂的测量系统的中心用于检查尺寸找到。在这方面的非常高的要求在性能和可靠性方面置于位移传感器。重要的应用范围是精度和温度稳定性,分辨率和截止频率。
  电容位移传感器测量的方法是基于理想板型电容器的原理。在板的间隔的变化引起的总容量的变化。具有传感器系统的两个板状电极是由传感器和目标形成的。如果在交替的恒定频率的电流流过传感器电容器,传感器上的交变电压的幅度正比于到目标(接地电极)的距离。通过板电容器的电抗XC的一个特殊评价,严格的比例关系是获得没有额外的线性化。在实践中,这几乎是理想的情况是线性版权由传感器作为保护环的电容器的设计。这适用于所有的金属作为的导电性的目标无关。
  与半导体测量对象相对低电导率的金属相比,具有对测量原理不利效果,因为这里有可以是在目标电荷输送不足。在这种情况下,所述可以在目标的导电性被发现确实是“人为”,通过增加,例如,由测量点的合适的照明。这种效应被称为“光电导”可以增加目标材料的导电性,许多大小等促进电容位移传感器的应用程序。

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