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光谱共焦传感器在纳米计中的应用原理介绍
发布时间:2018-09-03   点击次数:119次
  光谱共焦传感器应用于表面难以测量的物体(技术性及困难表面),是一种非接触式轮廓测量的通用的测量解决方案。理想情况下,共焦传感器适合于敏感的,软的或液体的表面。适用于微机械工程,电气工程,光学行业,塑料和造纸行业,半导体和PCB产业的检测,工具行业等。
  使用光谱共焦测量技术,可以得到超高分辨率。纳米级分辨率源于上述经过特殊处理得到的加长光谱范围。由于采用检测焦点的颜色,得到距离信息,光谱共焦传感器可以采用非常小的测量光斑,从而允许测量非常小的被测物体。这也意味着,即使被测表面有非常轻微的划痕,也逃不过光谱共焦传感器的眼睛。
  由于光谱共焦传感器的光路非常紧凑和集中,使其非常适合测量钻孔结构。而其他测量方式,如激光三角反射式测量,对于小孔往往无能为力,因为小孔形成的阴影会遮挡反射光的光路,无法进行测量。针对这种小孔测量任务,微型光谱共焦传感器探头,这种探头拥有仅4mm的探头直径,可以探入小孔内部进行测量。
  另一种非常适合光谱共焦传感器的应用是测量多层透明材料的厚度。与其他测量方法不同,光谱共焦传感器在测量这种物体时,仅需要一支探头就可以完成测量。
  测量被测物体前端面和后端面的反射光,从而得到层厚信息。由于测量只使用白光,无需额外附加激光安全措施。由于探头本身不含有任何电路,传感器探头还可以被用于有防爆要求的环境或者有电磁干扰要求的环境。而控制器可以被放置于安全距离以外。允许长50m的光纤连接探头和控制器。但是,需要禁止在光路上存在遮挡物或小颗粒,这会影响测量精度,甚至使测量变得不可完成。由于采用的是光学测量方法,探头到被测物体的距离也有一定限制。
  光谱共焦传感器纳米计主要特点
  1、纳米级分辨率;与光强度无关,与被测体反射系数无关;
  2、坚固的结构,使用寿命长;
  3、易操作且动态测量可以达到很高的测量频率,匹配自动化的需求。操作人员不需要经过专业的培训也能得到可靠的测量结果;
  4、NLS12传感器,具有简化的独立系统,可以在工业或交通不便的环境中进行测量;
  5、与三角反射法不同,几乎无反射角要求,且无反射平面阻挡之影响,因此可用于小孔深度测量;
  6可以计算面积,厚度或体积;
  7、可进行平整度的测量,高度或位置的测量;

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