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MTI 数字式电容探头

简要描述:

MTI 数字式电容探头的特点
● 电缆和探头使用的的温度范围: -130ºC -- 200ºC (也有高温探头,在下一页有介绍)
● 连接头的使用温度范围: -65ºC -- 85ºC
● 精度: 高于满量程的±0.02% (当探头和放大器经过和被测物校准后)
● 标准放大器滤波带宽: 500Hz

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MTI 数字式电容探头

 

 

MTI 数字式电容探头

(标准规格的电容探头以达到纳米级别的分辨率并且有非常好的稳定性)

电容位移传感器的应用

显微镜聚焦 „镜头的对准 „测量零件的外形 „测量零件的倾斜 „测量半导体硅片的厚度 „测量压电平台的位移 „测量振动 „测量电脑硬盘运行和厚度 „测量刹车盘的翘曲和厚度 „测量金属板的厚度 „测量光伏晶圆

的特点

● 电缆和探头使用的的温度范围: -130ºC  -- 200ºC (也有高温探头,在下一页有介绍)

● 连接头的使用温度范围: -65ºC -- 85ºC

● 精度: 高于满量程的±0。02% (当探头和放大器经过和被测物校准后)

● 标准放大器滤波带宽: 500Hz

● 可选滤波带宽 10Hz, 100Hz, 1kHz, 2kHz, 5kHz 以及 660Hz-Bessel

● 1分辨率 RMS: (0.000423 x 滤波带宽  Hz + 1.2) x 0.00002 x 量程

● 探头和电缆互换性: ± 0.5%(在没有经过校准的情况下互换)

● 承受压力范围: 14MPa- (不适用于高温探头)

● 材料: 不锈钢结构,内部没有电子元器件

● 带线缆的探头,同轴电缆长度: 2.4m (可选延长线缆.)

 

型号       ASP-1-ILR

 

量程

2zui大扩展量程

 

感度

 

感测直径E

 

探头直径D

 

探头长度L

 

zui小范围

µm

25.4

 

10

µm/V

2。54

mm

1.09

mm

2.36

mm

9。53

µm

1.270

ASP-2-ILR

50.8

10

5。08

1.55

2。84

9。53

2.540

ASP-5-ILR

127。0

10

12.70

2.49

3.96

9.53

6。350

ASP-10-ILR

254。0

10

25.40

3。53

5.54

9。53

12.700

ASP-20-ILR

508.0

4

50.80

5.00

7。92

9.53

25.400

ASP-50-ILR

1270.0

3

127.00

7.98

13.87

9。53

63.500

ASP-100-ILR

2540.0

2

254.00

11.25

25.40

9。53

127。000

ASP-200-ILR

5080。0

2

508.00

15.93

38.10

9.53

254。000

 

 

型号       ASP-25M-CTR

 

量程

2zui大扩展范围

 

感度

 

感测直径E

 

探头直径D

 

探头长度L

 

zui小范围

µm

25。4

 

10

µm/V

2.54

mm

1.09

mm

9.53

mm

25.40

µm

1.270

ASP-50M-CTR

50.8

10

5。08

1.55

9.53

25.40

2。540

ASP-125M-CTR

127.0

10

12。70

2.49

9。53

25.40

6。350

ASP-250M-CTR

254。0

10

25.40

3.53

9.53

25.40

12.700

ASP-500M-CTR

508。0

4

50.80

5。00

11.13

25.40

25.400

ASP-1250M-CTR

1270.0

3

127。00

7.98

15.88

25.40

63.500

ASP-2500M-CTR

2540.0

2

254。00

11.25

25.40

25。40

127.000

 

 

产品型号       ASP-1-ILA

 

量程

2zui大扩展范围

 

感度

 

感测直径E

 

探头直径D

 

探头长度L

 

zui小范围

µm

25.4

 

10

µm/V

2.54

mm

1.09

mm

2.36

mm

9。53

µm

1.270

ASP-2-ILA

50.8

10

5.08

1.55

2.84

9。53

2.540

ASP-5-ILA

127.0

10

12。70

2.49

3.96

9.53

6.350

ASP-10-ILA

254.0

10

25.40

3.53

5.54

9.53

12。700

ASP-20-ILA

508.0

4

50。80

5.00

7.92

9.53

25.400

ASP-50-ILA

1270。0

3

127。00

7。98

13.87

9.53

63。500

ASP-100-ILA

2540。0

2

254.00

11。25

25。40

9.53

127.000

ASP-200-ILA

5080.0

2

508.00

15。93

38。10

9.53

254.000

 

   

 

型号       ASP-0。5-CTA

 

量程

2zui大扩展范围

 

感度

 

感测直径E

 

探头直径D

 

探头长度L

 

zui小范围

µm

12。7

 

20

µm/V

1。27

mm

0.74

mm

6.35

mm

63。50

µm

0.635

ASP-25M-CTA

25.4

10

2.54

1。09

6.35

63.50

1。270

ASP-50M-CTA

50。8

10

5.08

1.55

6.35

63.50

2。540

ASP-125M-CTA

127。0

10

12.70

2。49

6.35

63.50

6.350

ASP-250M-CTA

254。0

10

25.40

3.53

6.35

63。50

12.700

ASP-500M-CTA

508。0

5

50.80

5。00

11.10

63.50

25.400

ASP-1250M-CTA

1270.0

3

127。00

7.98

15。88

63.50

63.500

ASP-2500M-CTA

2540.0

2

254。00

11.25

25.40

63.50

127.000

ASP-5000M-CTA

5080.0

2

508.00

15.93

38。10

101。60

254。000

ASP-500-CTA

12700。0

1

1270.00

25。22

82.55

101。60

635.000

 

 

 

型号       ASP-1-PCA

 

量程

2zui大扩展范围

 

感度

 

感测直径E

 

探头直径D

 

探头长度L

 

zui小范围

µm

25。4

 

10

µm/V

2。54

mm

1.09

mm

2.36

mm

2.54

µm

1.270

ASP-2-PCA

50。8

10

5。08

1.55

2.84

2。54

2.540

ASP-5-PCA

127。0

10

12.70

2.49

3。96

2。54

6.350

ASP-10-PCA

254.0

10

25.40

3.53

5.54

2。54

12。700

ASP-20-PCA

508.0

4

50.80

4.98

7.92

2.54

25.400

ASP-50-PCA

1270.0

3

127.00

7。98

13.87

2。54

63。500

ASP-100-PCA

2540.0

2

254.00

11.25

25.40

2.54

127。000

 

 

 

型号       ASP-1-PCR

 

量程

2zui大扩展范围

 

感度

 

感测直径E

 

探头直径D

 

探头直径L

 

zui小范围

µm

25。4

 

10

µm/V

2。54

mm

1.09

mm

2.36

mm

2.54

µm

1.270

ASP-2-PCR

50。8

10

5.08

1.55

2.84

2.54

2。540

ASP-5-PCR

127.0

10

12.70

2.49

3。96

2.54

6。350

ASP-10-PCR

254.0

10

25.40

3。53

5.54

2.54

12。700

ASP-20-PCR

508.0

4

50.80

4.98

7.92

2。54

25。400

ASP-50-PCR

1270.0

3

127.00

7.98

13。87

2.54

63.500

ASP-100-PCR

2540.0

2

254.00

11。25

25。40

2。54

127.000

ASP-200-PCR

5080。0

2

508。00

15。93

38。10

5.08

254.000

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